經濟部計畫-專利讓與公告2019.5.21
| 專利名稱 | 國別 | 證書號 | 領域別 | 獲證日期 |
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化學機械研磨對不同研磨墊外形研磨晶圓之有效研磨頻率及有效研磨次數分析方法 |
美國 | US7299107 | 材料化工 | 2007/11/20 |
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不同花紋及形貌研磨墊的有效研磨頻率及次數之分析方法 |
中華民國 | I321503 | 材料化工 | 2010/03/11 |
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不同花紋及形貌研磨墊的有效研磨頻率及次數之分析方法 |
美國 | US7991216 | 材料化工 | 2011/08/02 |
| 專利名稱 | 國別 | 證書號 | 領域別 | 獲證日期 |
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化學機械研磨對不同研磨墊外形研磨晶圓之有效研磨頻率及有效研磨次數分析方法 |
美國 | US7299107 | 材料化工 | 2007/11/20 |
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不同花紋及形貌研磨墊的有效研磨頻率及次數之分析方法 |
中華民國 | I321503 | 材料化工 | 2010/03/11 |
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不同花紋及形貌研磨墊的有效研磨頻率及次數之分析方法 |
美國 | US7991216 | 材料化工 | 2011/08/02 |